特点/应用◆ 满足I-V/C-V，PIV测试，光电测试等.
◆ 最大可用于8英寸以内样品测试
◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动
◆ 兼容高倍率金相显微镜，可微调移动
◆ 可升级做射频，大电流方面的测试和激光修复应用
探针台主要参数| 组件 | 项目 | 型号 | |||
| QYL-6 | QYL-8 | ||||
| 台体 | Chuck尺寸 | 6英寸 | 8英寸 | ||
| 快速抽拉 | 行程：230mm | ||||
| 水平旋转 | 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 | ||||
| X-Y移动行程 | 6英寸*6英寸 | ||||
| X-Y移动精度 | 10um/lum | ||||
| 样品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 | ||||
| 针座平台 | 最多可放置6个探针座 | ||||
| 背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 | ||||
| 显微镜 | 显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 | |||
| 放大倍率 | 16X-100X/20X-4000X | ||||
| 移动行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴行程50.8mm | ||||
| 光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 | ||||
| CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 | ||||
| 探针座 | X-Y-Z移动行程 | 12mm*12mm*12mm | |||
| 移动精度 | 10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um | ||||
| 吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 | ||||
| 探针夹具 | 线缆 | 同轴线/三轴线/射频线 | |||
| 漏电精度 | 10pA/100fA/10fA | ||||
| 固定探针 | 弹簧固定/管状固定 | ||||
| 接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子/射频接口 | ||||
| 探针 | DC针尖直径 | 0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um | |||
| RF探针频率 | 40GHz/50GHz/67GHz/110GHz/1100GHz | ||||
| 材质 | 钨钢/铍铜/镀镍 | ||||
| 外形 | 580mm长*480mm宽*600mm高 | ||||
| 重量 | 约60千克 | ||||
| 可选附件 | 加热台 | 屏蔽箱 | 高压测试配件 | ||
| 镀金卡盘 | 防震桌 | 激光系统 | |||
| 射频测试配件 | 光电测试配件 | 探针卡夹具 | |||
| 根据客户要求定制 | |||||
工厂地址：深圳市龙华区福城街道新和社区田茜路19号二层 0755-29005300
业务经理：王先生 13802245525 （微信同号）
深圳公司：深圳市龙华区福城街道田茜路19号
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