特点/应用◆ 用于需要正面和背面同时扎针的使用场景；
◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动
◆ 大手柄驱动，操作舒适，无回程差设计
◆ 针座平台快速、微调升降功能
◆ 可搭配多种类型显微镜；
◆ 集成电路、Wafer ， LED、LCD、太阳能电池等行业测试；
◆ 结构模块化设计，可无缝升级
◆ 探针台可根据客户要求定制。
探针台主要参数| 型号：QYH-8-D | ||
| 组件 | 项目 | 特性和参数 |
| 台体 | Chuck尺寸 | 8英寸 |
| 快速抽拉 | 行程：120mm | |
| 水平旋转 | 卡盘可以360°旋转，细调精度不大于0.1°,带有锁定旋钮 | |
| XY移动行程 | 8英寸*8英寸 | |
| XY移动精度 | 10um/lum可选 | |
| 样品固定 | 样品夹定，尺寸可调； | |
| 双面点针平台 | 气动升降平台升起为双平台，落下可做单平台使用 | |
| 平台针座数量 | 单平台最多放置8个CB-200针座 | |
| 卡盘结构 | 普通/高温/带背电极等结构卡可选择 | |
| 背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 | |
| 温控系统 | 温度范围 | 室温~300℃(400℃,500℃可选) |
| 温控精度 | 0.1℃ | |
| 温控稳定性 | 士1℃ | |
| 温控传感器 | 100 Ω铂电阻传感器 | |
| 正面光学系统 | CCD | 200W/500W/1200W像素可选(正反面) |
| 显微镜类型 | 单筒/体视/金相显微镜可选 | |
| 放大倍率 | 16X-100X/20X-2000X | |
| 显微镜调节 | 水平方向绕立柱旋转X-Y移动2*2英寸，Z轴行程50.8mm | |
| 光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 | |
| 背面光学系统 | 显微镜类型 | L型单筒显微镜 |
| 连续变倍比 | 6.3:1 | |
| 放大倍率范围 | 0.75-5X | |
| 放大倍率 | 315X(计算公式：变焦*CCD*显示器) | |
| 显微镜调节 | 微调行程：15*15mm;粗调行程100mm | |
| 光源 | 同轴光源 | |
| 探针座 | X-Y-Z移动行程 | 12mm*12mm*12mm |
| 移动精度 | 10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um | |
| 吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 | |
| DC调节点测角度 | 0-30° | |
| RF调节角度 | 多点探头调水平旋钮，可以+-10°调节，精度0.1度 | |
| 探针夹具 | 线缆 | 同轴线/三轴线/射频线 |
| 漏电精度 | 10pA/100fA/10fA | |
| 固定探针 | 弹簧固定/管状固定 | |
| 接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子/射频接口 | |
| 探针 | DC针尖直径 | 0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um |
| RF探针频率 | 40GHz/50GHz/67GHz/110GHz/1100GHz | |
| 材质 | 钨钢/铍铜/镀镍 | |
| 外形 | 720mm长*725mm宽*710mm高 | |
| 重量 | 约150千克 | |
| 可选附件 | 屏蔽箱 防震桌 | |
| 高压测试配件 探针卡夹具 | ||
| 激光系统 镀金卡盘 | ||
| 根据客户要求定制 | ||
工厂地址：深圳市龙华区福城街道新和社区田茜路19号二层 0755-29005300
业务经理：王先生 13802245525 （微信同号）
深圳公司：深圳市龙华区福城街道田茜路19号
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