特点/应用◆ 最大可用于12英寸以内样品测试
◆ 同轴丝杠传动结构，线性移动
◆ 大手柄驱动，操作舒适，无回程差设计
◆ 针座平台快速、微调升降功能
◆ 可搭配多种类型显微镜
◆ 晶片测试、光电器件测试、PCB/IC测试、射频测试、高压大电流测试等
◆ 结构模块化设计，可无缝升级
◆ 探针台可根据客户要求定制。
探针台主要参数| 组件 | 项目 | 型号 | |
| QYH-8 | QYH-12 | ||
| 台体 | Chuck尺寸 | 8英寸 | 12英寸 |
| 快速抽拉 | 行程：110mm | 行程：150mm | |
| 水平旋转 | 可360度旋转，可微调15度，精度0.1度，带角度锁死装置 | ||
| X-Y移动行程 | 8英寸*8英寸 | 12英寸*12英寸 | |
| X-Y气浮移动 | 可360°气浮移动，便于快速定位样品 | ||
| X-Y移动精度 | 10um/lum | ||
| 样品固定 | 真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附环 | ||
| 针座平台 | 最多可放置8个探针座 | 最多可放置10个探针座 | |
| 平台升降 | 可快速升降6mm/可微调升降25mm | ||
| 背电极测试 | 样品台电学独立悬空，4mm插孔可接背电极 | ||
| 显微镜 | 显微镜类型 | 单筒显微镜/体式显微镜/金相显微镜 | |
| 放大倍率 | 16X-100X/20X-4000X | ||
| 移动行程 | X-Y轴行程2英寸*2英寸，Z轴行程50.8mm (Z轴可选气动升降，便于快速进行物镜切换) | ||
| 光源 | 外置LED环形光源/同轴光源 | ||
| CCD | 200万像素/500万像素/1200万像素 | ||
| 其他功能 | 可加载激光器 | ||
| 探针座 | X-Y-Z移动行程 | 12mm*12mm*12mm | |
| 移动精度 | 10um/2um/0.7um/0.5um/0.35um | ||
| 吸附方式 | 磁力吸附/真空吸附 | ||
| DC调节点测角度 | 0-30° | ||
| RF调节角度 | 多点探头调水平旋钮，可以+-10°调节，精度0.1度 | ||
| 探针夹具 | 线缆 | 同轴线/三轴线/射频线 | |
| 漏电精度 | 10pA/100fA/10fA | ||
| 固定探针 | 弹簧固定/管状固定 | ||
| 接头类型 | BNC/三轴/香蕉头/鳄鱼夹/接线端子/射频接口 | ||
| 探针 | DC针尖直径 | 0.2um/lum/2um/5um/10um/20um/50um/100um | |
| RF探针频率 | 40GHz/50GHz/67GHz/110GHz/1100GHz | ||
| 材质 | 钨钢/铍铜/镀镍 | ||
| 外形 | 840mm长*600mm宽*700mm高 | 950mm长*700mm宽*700mm高 | |
| 重量 | 约100千克 | 约150千克 | |
| 可选附件 | 加热台 | 屏蔽箱 | |
| 高压测试配件 | 防震桌 | ||
| 激光系统 | 探针卡夹具 | ||
| 射频测试配件 | 镀金卡盘 | ||
| 光电测试配件 | |||
| 根据客户要求定制 | |||
工厂地址：深圳市龙华区福城街道新和社区田茜路19号二层 0755-29005300
业务经理：王先生 13802245525 （微信同号）
深圳公司：深圳市龙华区福城街道田茜路19号
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